所属领域:干式蚀刻机团队
公司计划开发具高选择性、可达到高精密纳米线路要求的干式蚀刻机。团队拥有经验丰富的设备制造和晶圆制造流程工程师,能提供整套式的6吋(150mm)、8吋(200mm),IGBT、MOSFET、GaAs、GaN、SIC集成电路,芯片厂整厂规划方案。